俄歇电子能谱(AES):一种表面分析技术,通过测量样品表面原子在“俄歇效应”中发射的俄歇电子能量分布,来确定表面(通常为最外层几纳米)元素组成,并可用于表面污染、薄膜与界面分析。
/ˈɔːɡər ɪˈlɛktrɒn spɛkˈtrɒskəpi/
Auger electron spectroscopy can identify elements on a metal surface.
俄歇电子能谱可以识别金属表面的元素。
By combining Auger electron spectroscopy with ion sputtering, the lab obtained a depth profile of the thin film and detected trace surface contamination.
通过将俄歇电子能谱与离子溅射结合,实验室获得了薄膜的深度剖面,并检测到痕量表面污染。
“Auger”来自法国物理学家Pierre Auger(皮埃尔·俄歇)的姓氏;“electron spectroscopy”意为“电子能谱/电子谱学”。该术语整体指利用俄歇效应产生的电子来进行谱学测量与材料表面成分分析。