Secondary Ion Mass Spectrometry

释义 Definition

二次离子质谱法：一种表面分析技术，用离子束轰击样品表面，使表面原子/分子溅射并产生“二次离子”，再通过质谱按质荷比（m/z）分离与检测，从而获得元素/同位素/分子碎片的组成信息，并可进行深度剖析与成像。常写作 SIMS。（该术语在不同语境下也可泛指相关仪器或测试方法。）

发音 Pronunciation (IPA)

/ˈsɛkənˌdɛri ˈaɪən mæs spɛkˈtrɑːmətri/

例句 Examples

Secondary ion mass spectrometry can detect trace impurities on a wafer surface.
二次离子质谱法可以检测晶圆表面的痕量杂质。

By combining secondary ion mass spectrometry with depth profiling, the team mapped how dopant concentrations changed through the thin film.
通过将二次离子质谱法与深度剖析结合，团队绘制了掺杂剂浓度在薄膜厚度方向上的变化分布。

词源 Etymology

该术语由三部分构成：secondary ion（二次离子，指被一次离子束轰击后从表面溅射产生的离子）+ mass spectrometry（质谱法，按质荷比分离并检测离子）。20世纪中后期随表面科学与半导体工业发展而广泛应用；在文献中常以缩写 SIMS 出现。

相关词 Related Words

• Surface
• Sputtering
• Ion Beam
• Mass Spectrometry
• Depth Profiling
• Isotope
• Spectrometer
• TOF-SIMS

文学与著作中的用例 Literary & Notable Works

• Surface Analysis: The Principal Techniques（Vickerman & Briggs 编）：表面分析经典综述性著作，含SIMS章节与应用案例。
• Secondary Ion Mass Spectrometry: Basic Concepts, Instrumental Aspects, Applications and Trends（Vickerman & Briggs）：以SIMS为主题的专著，系统介绍原理、仪器与应用。
• Practical Surface Analysis（Briggs & Seah 编）：实用型表面分析参考书，涵盖SIMS在材料与薄膜中的常见用法。
• Handbook of Surface and Interface Analysis：手册类参考书，常以SIMS作为重要表征手段之一进行介绍。