扫描探针显微镜(SPM)是一类利用“探针”在样品表面逐点扫描,通过测量探针与表面之间的相互作用(如力、隧穿电流等)来获得纳米到原子尺度表面形貌与物性信息的显微技术总称。常见分支包括原子力显微镜(AFM)与扫描隧道显微镜(STM)。
/ˈskænɪŋ proʊb maɪˈkrɑːskəpi/
Scanning probe microscopy can image surfaces at the nanoscale.
扫描探针显微镜可以在纳米尺度上对表面成像。
Using scanning probe microscopy, researchers mapped local conductivity variations across the thin film with near-atomic resolution.
研究人员使用扫描探针显微镜以接近原子级的分辨率绘制了薄膜的局部电导率差异分布。
该术语由三部分构成:scanning(扫描)强调“逐点/逐线移动测量”,probe(探针)指代用于与样品相互作用的尖端,microscopy(显微学/显微技术)表示以微观成像与表征为目的的技术体系。“scanning probe microscopy”作为总称在纳米科学发展过程中逐渐固定,用来统括以“探针扫描”为核心机制的一系列显微方法。