Excimer Laser

Definition / 定义

excimer laser：准分子激光器。一种以“准分子”（excimer，通常指处于激发态的短寿命二聚体或复合分子，如 ArF、KrF、XeCl 等）为增益介质的气体激光，常输出紫外（UV）脉冲激光。广泛用于半导体光刻（深紫外 DUV）、角膜屈光手术（如 LASIK）、材料表面微加工与精密去除（ablation）。

Pronunciation / 发音

/ˈɛksɪmər ˈleɪzər/

Examples / 例句

The hospital uses an excimer laser for eye surgery.
医院使用准分子激光器进行眼科手术。

By adjusting the pulse energy, the excimer laser can remove material precisely with minimal heat damage to surrounding areas.
通过调节脉冲能量，准分子激光器可以精确去除材料，并将对周围区域的热损伤降到最低。

Etymology / 词源

excimer 来自 excited（激发的）+ dimer（二聚体），原意指“激发态二聚体”：许多准分子在基态并不稳定，但在激发态可短暂存在并产生受激辐射；laser 是 Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation 的首字母缩写（“受激辐射产生的光放大”）。因此 excimer laser 字面可理解为“利用激发态二聚体作为工作介质的激光器”。

Related Words / 相关词汇

• Excimer
• Ultraviolet
• Photolithography
• LASIK
• Gas Laser
• Pulse
• Ablation
• Fluorine
• Krypton
• Argon

Literary Works / 文学作品举例

• 《Principles of Lasers》（Orazio Svelto）——在激光类型与气体激光章节中讨论准分子激光的原理与特性。
• 《Laser Fundamentals》（William T. Silfvast）——介绍准分子激光的受激辐射机制与典型工作介质（如 KrF、ArF）。
• 《Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling》（Plummer 等）——在半导体制造与光刻工艺中涉及以准分子激光为光源的 DUV 光刻。
• 《Excimer Laser Technology》（编辑论文集/专著体例常见）——多篇章节集中讨论准分子激光器设计、气体混合物与工业应用。