俄歇电子能谱（Auger spectroscopy，常指 AES）：一种表面分析技术，通过测量样品表面发射的俄歇电子的能量分布，来确定材料表面（通常在纳米级深度）的元素组成与部分化学环境信息。常用于材料科学、半导体与腐蚀/污染分析等领域。
/ˈoʊʒeɪ spɛkˈtrɑːskəpi/
Auger spectroscopy can identify elements on a metal surface.
俄歇电子能谱可以识别金属表面上的元素。
Using Auger spectroscopy under ultra-high vacuum, researchers mapped the distribution of contaminants across the wafer and traced the failure to a thin oxide layer.
研究人员在超高真空条件下使用俄歇电子能谱对晶圆上的污染物分布进行成像，并将失效原因追溯到一层很薄的氧化层。
Auger 来自法国物理学家 Pierre Auger（皮埃尔·俄歇） 的姓氏；他在 1920 年代研究并阐明了“俄歇效应”（原子内层空穴被填补时，能量不以 X 射线而以电子形式释放）。Spectroscopy 源自 *spectro-*（“光谱/谱”）+ -scopy（“观察/检测”），合起来表示“通过能谱来进行检测/分析”的方法。
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