Wafer Prober

释义 Definition

wafer prober：晶圆探针台/晶圆测试探针台。用于半导体制造中的晶圆级电性测试（wafer sort）设备，通过探针卡与晶圆上的焊盘/测试点接触，把芯片电信号引出到测试机（ATE）进行测量与分档。

发音 Pronunciation (IPA)

/ˈweɪfər ˈproʊbər/

例句 Examples

The wafer prober aligns the wafer before testing.
晶圆探针台会在测试前对晶圆进行对准。

After parametric checks, the wafer prober and ATE automatically map failing dies so the fab can optimize yield and decide which chips to package.
在参数测试完成后，晶圆探针台与自动测试设备（ATE）会自动生成失效芯片的分布图，便于晶圆厂优化良率并决定哪些芯片进入封装流程。

词源 Etymology

wafer 原指“薄片/薄饼”，在半导体语境中引申为“晶圆”；prober 来自 probe（探测、探针），指用探针进行测量的装置。合起来即“对晶圆进行探针接触与测量的设备”。

相关词 Related Words

• Aligner
• Probe Card
• ATE
• Wafer Sort
• Die
• Pad
• Parametric Test
• Yield
• Handler

文献与著作 Literary / Notable Works

• Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology（收录晶圆测试、探针台与相关工艺/设备内容）
• Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control（涵盖晶圆级测试与制造流程中的测量环节）
• CMOS VLSI Design: A Circuits and Systems Perspective（在测试与可测性相关章节/语境中常提及晶圆级测试设备）
• IEEE 期刊与会议论文（如 IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing、IEEE International Test Conference (ITC) 等常出现 “wafer prober” 术语）