电子束:由大量高速运动的电子组成、方向性很强的“束流”,常在真空中用电场/磁场加速与聚焦,用于电子显微镜、电子束焊接、电子束曝光(光刻)、材料分析等。(也常作定语:electron-beam welding 电子束焊接)
/ɪˈlɛktrɑːn biːm/
An electron-beam can be focused into a tiny spot.
电子束可以被聚焦成非常小的光斑。
Electron-beam lithography enables extremely fine patterns, but it is slower and more expensive than optical lithography.
电子束曝光(电子束光刻)能制作极其精细的图形,但通常比光学光刻更慢、成本更高。
electron-beam 是由 electron(电子)+ beam(束/光束样的束流) 组成的复合词。electron 源自希腊语 ēlektron(“琥珀”——古人观察到琥珀摩擦起电),beam 原指“光束/梁”,在物理学中引申为“具有方向性的粒子束”。合起来就表示“像光束一样定向传播的电子流”。